
© Hubert RAGUET/CNRS Photothèque
Technique d'élaboration des couches minces de ZnO (oxyde de zinc) par la pulvérisation cathodique ra
Reference
20060001_0398
Max. size
32.78 x 21.95 cm / 300 dpi
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Technique d'élaboration des couches minces de ZnO (oxyde de zinc) par la pulvérisation cathodique radiofréquences à magnétron. Le dépôt de la couche est contrôlé par cinq paramètres essentiels ; le débit et la pression des espèces gazeuses (Argon et Oxygène), la puissance nominale appliquée à la cible, la distance interélectrode (cible-substrat) et la température du substrat.