20050001_0603

© Cédric BRELUZEAU/CNRS Images

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20050001_0603

Motifs en silicium représentant des engrenages réalisés par gravure profonde. Ces images ont été obt

Motifs en silicium représentant des engrenages réalisés par gravure profonde. Ces images ont été obtenues au moyen d'un profilomètre optique Fogale Nanotech (système ZoomSurf) par interférométrie en lumière blanche. Hauteur des motifs : 21 µm.

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