Production year
2002
© Laurence MEDARD/CNRS Images
Reference
20020001_0735
Dispositif pour l'étude de source élémentaire de plasma excitée à la RCE (Résonance Cyclotronique El
Dispositif pour l'étude de source élémentaire de plasma excitée à la RCE (Résonance Cyclotronique Electronique) à 2,45 GHz avec sonde électrostatique polarisée à +30V (échauffement par bombardement électronique) pour caractérisation du plasma d'argon. Génie des réacteurs plasma basse pression pour application aux traitements de surface : dépôts de couches métalliques par pulvérisation assistée par plasma, implantation ionique, gravure...
Add to my selection
Terms of use
The use of media visible on the CNRS Images Platform can be granted on request. Any reproduction or representation is forbidden without prior authorization from CNRS Images (except for resources under Creative Commons license).
No modification of an image may be made without the prior consent of CNRS Images.
No use of an image for advertising purposes or distribution to a third party may be made without the prior agreement of CNRS Images.
For more information, please consult our general conditions
